笔者日前从中微半导体设备（上海）有限公司（下简称“中微半导体”）获悉，在相关部门的推动下，中微半导体2014年底成为国家集成电路产业发展投资基金头部个完成投资的项目，投资总额达到4.8亿元。

　　据了解，中微半导体2004年成立，是国内首家加工亚微米及纳米级大规模集成线路关键设备的公司。该公司总部位于浦东金桥出口加工区（南区），拥有2.8万平方米的厂区，内设洁净室、生产、研发等专属区域。去年12月30日，金桥集团位于临港综合区的“上海临港IC与智能装备产业示范园区”正式揭牌，中微半导体成为首批入驻的三家企业之一，为其进一步扎根浦东发展提供了空间。

　　中微半导体目前主要的产品为等离子刻蚀机，其28到15纳米的耦合等离子体介质刻蚀机于去年在浦东举行的中国国际工业博览会上获得金奖。

　　“经过前期的积累，自2012年以来，中微半导体在线%以上的增长速度。截至2014年，公司已有350多个反应台在台积电、英特尔等著名芯片制造商位于亚洲的30条生产线全面运转，一年可生产出1700多万片合格晶圆。”中微半导体董事长兼首席执行官尹志尧表示，中微半导体在2014年的发展态势良好，年销售额达到4.2亿元，同比增长40%，设备出口增长60%。

　　值得一提的是，中国电子专用设备工业协会此前的数据统计显示，2013年中国出口的泛半导体设备总额为2.93亿元，其中中微半导体1.89亿元，占全国的64%。据尹志尧透露，该公司在2014年国内泛半导体设备出口占比预计将进一步上升至八成左右。

　　国家集成电路产业投资基金由国家工信部牵头，去年9月24日正式设立，基金重点投资集成电路芯片制造业，兼顾芯片设计、封装测试、设备和材料等产业，实施市场化运作、专业化管理。国富国民（北京）投资管理公司CEO王世渝在接受笔者采访时表示，集成电路产业是通信、IT、物联网、大数据等行业发展的基础，是否拥有集成电路核心知识产权，决定了能否在诸多领域占领制高点。而2013年我国集成电路芯片进口额为2322亿美元，是进口额蕞大的领域。“相比芯片成品，每台售价动辄几百万美金、蕞高可达1.5亿美元的芯片制造设备更值得关注。”王世渝表示。

　　“集成电路产业可以被视作是‘国家战略’，产业基金是进一步布局的具体举措。浦东此前已推荐过一些项目纳入产业基金的重点关注目录。”浦东新区经济和信息化委员会副主任张爱平表示，目前，浦东既有锐迪科、展讯通信、中芯国际、华力微电子等芯片制造企业，又拥有中微半导体、盛美半导体等上下游设备制造企业，产业链相对完备，“中微半导体成为国家集成电路产业投资基金首个完成投资的项目，有望奠定浦东在国内集成电路的产业地位，成为全球集成电路产业崛起的高地。”

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